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基於調諧質量阻尼之微機械質量感測器

杜文睿(Wen-Ruei Du) ; 劉嘉仁(Jia-Ren Liu) ; 陳庭毅(Ting-Yi Chen) ; 李尉彰(Wei-Chang Li)

科儀新知, 2023-12 (237)

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題名:
基於調諧質量阻尼之微機械質量感測器
著者: 杜文睿(Wen-Ruei Du) ; 劉嘉仁(Jia-Ren Liu) ; 陳庭毅(Ting-Yi Chen) ; 李尉彰(Wei-Chang Li)
所屬期刊: 科儀新知, 2023-12 (237)
描述: 透過微機械諧振器之諧振頻率隨著外在環境變化而偏移的效果作為感測器使用，是目前廣泛應用的感測機制之一，並已用於質量、力量與電壓計等感測應用。有別於傳統諧振式微機械感測元件如懸臂梁結構，本文使用基於調諧質量阻尼結構之多維度諧振器做為質量感測元件，以此來達成更高的感測靈敏度。本文將依序介紹調諧質量阻尼微機械感測器的物理模型、量測架設以及實驗結果。
出版者: 財團法人國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心
語言: 中文
識別號: ISSN: 1019-5440
資源來源: Chinese Electronic Periodical Services (CEPS)

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