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基於調諧質量阻尼之微機械質量感測器

杜文睿(Wen-Ruei Du) ; 劉嘉仁(Jia-Ren Liu) ; 陳庭毅(Ting-Yi Chen) ; 李尉彰(Wei-Chang Li)

科儀新知, 2023-12 (237)

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