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基于MEMS微镜角度反馈的新型封装应力隔离结构

QIAN Lei, 钱磊 ; HU Jie, 胡杰 ; SHAN Yameng, 单亚蒙 ; WANG Junduo, 王俊铎 ; ZHOU Peng, 周鹏 ; SHEN Wenjiang, 沈文江

Guang zi xue bao = Acta photonica sinica, 2022, Vol.51 (5), p.551311

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