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1
关于CCD铝布线光刻工艺质量的优化研究
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期刊文獻
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关于CCD铝布线光刻工艺质量的优化研究

高建威 韩沛东 向鹏飞 杨修伟

电子科技, 2017, Vol.30 (6), p.146-149

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2
大面阵内线转移CCD二次金属铝刻蚀残留研究
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期刊文獻
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大面阵内线转移CCD二次金属铝刻蚀残留研究

波 李睿智 向鹏飞 郭培 龙飞

半导体光电, 2017, Vol.38 (3), p.365-368

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3
CCD曝光工艺常见缺陷及解决办法
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期刊文獻
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CCD曝光工艺常见缺陷及解决办法

高建威 向鹏飞 邓涛 杨修伟

电子科技, 2014, Vol.27 (11), p.160-162

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4
大阵列CCD光刻图形拼接技术研究
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期刊文獻
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大阵列CCD光刻图形拼接技术研究

李佳 高建威 波 杨修伟 杨洪

半导体光电, 2015, Vol.36 (6), p.936-938

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5
颗粒对CCD光刻图形完整性的影响分析
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颗粒对CCD光刻图形完整性的影响分析

张故万 波 雷仁方

半导体光电, 2012, Vol.33 (1), p.53-56

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6
长线阵CCD光敏区铝剥离技术
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长线阵CCD光敏区铝剥离技术

曾武贤 张振宇 廖乃镘 钟玉杰

Ban dao ti guang dian, 2010, Vol.31 (6), p.858-860

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7
CCD多晶硅刻蚀技术研究
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期刊文獻
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CCD多晶硅刻蚀技术研究

向鹏飞 波 杨修伟 高建威

Ban dao ti guang dian, 2010, Vol.31 (6), p.885-887

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  5. 之後 2015  (2)
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  • scope:("NUTN"),scope:(NUTN_ALEPH),scope:(NUTN_IR),scope:(NUTN_SFX),primo_central_multiple_fe
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